登录后方可查看联系方式显微镜中的物镜对准通常需要一个开放的中心空间（例如，用于光线通过），PK1L60-080U压电扫描台（带有25mm的中心孔）是针对此类应用而开发的，每个轴都经过机械预加载。独特的产品设计非常紧凑，在X运动轴上的运动可达80µm（闭环），并且由于柔性机械设计而实现了无间隙的平行运动。
可以选择使用集成的SGS测量系统来克服迟滞的影响，并且PK1L60-080U定位系统可以配备电容测量系统，PK1L60-080U压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系统结合使用。
PK1L60-080U系列非常适合从光学研究到OEM系统的各种应用。
本系列产品种类包括X、Z、XZ、XY、XYZ轴运动系统版本。请参照相关型号介绍。
产品特性
—X位移：80μm（闭环）
—中孔尺寸：Φ25mm
—高度紧凑的设计带来卓越的性能
—柔性铰链确保高可靠性
—纳米和亚纳米范围内的高分辨率
选配功能
—可定制转接装置及中心孔径大小
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可选择Z、XZ、XY、XYZ轴版本
应用领域
—光纤定位
—镜头聚焦
—掩模、晶圆定位
—干涉法测量技术
—纳米操纵
