大流量氢气质量流量计测量范围

大流量氢气质量流量计可广泛地应用于石油化工、半导体和集成电路、特种材料学科、环保和真空等多种领域的科学研究和生产中，其典型应用有：电子工艺设备，如氧化、CVD、扩散、外延、等离子蚀刻、离子注入和溅射，以及微反应装置、配气和混气系统、镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪以及其它分析仪器。

工作原理：
采用差压、绝压和温度传感器来测量并补偿气体的流量、压力、温度，测量标准状态（如1ATM@25℃）下气体的体积流量。可测量4 种参数：质量流量、体积流量、温度和绝压，可选累计流量，并且可以通过动态显示屏同时显示。

测量范围：
①介质温度：-50－300℃；
②管道压力：0－40MPA；
③标况流量：0－10SCCM~12000SLPM（720Nm3/h）。

接口与输出：
①磁性按键和LCD设置流量计参数；
②Modbus协议，可选RS485/RS232 数字接口；
③多变量测量：流量/压力/温度/差压；
④零点跟G/累计/报警设置/气体特性表/转换系数等；
⑤模拟输出提供：0-5V/4-20mA。

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