超高纯减压阀
特点:
1、死体积小,容易吹扫
2、每台产品都进行氦气检测、压力重复性测试等
3、材料:SS316L(VIM+VAR可选)
4、膜片选用HC276(可选用其它工艺)
5、加工得Ra小于等于0.25微米
5、可在大宗气体与特种气体中使用(选型提前注意介质).
高纯减压阀
特点:每种产品都进行泄漏检测、压力重复性测试等;材料:SS316L(可选用其它工艺) ;膜片选用SS316L(可选用其它工艺或材料);可在大宗气体与特种气体中使用(选型提前注意介质)。
超高纯隔膜阀
特点:死体积小,容易吹扫;每台产品都进行氦气检测、快速重复性好;材料:SS316L(VIM+VAR/其它材料可选);膜片选用Ni-Co alloy/HC276(可选用其它工艺) ;加工得Ra小于等于0.25微米 ;可在大宗气体与特种气体中使用(选型提前注意适合介质);超长使用寿命。
洁净压力表
特点:材料:SS316L(VIM+VAR/其它材料可选) ;加工得Ra小于等于0.25微米(半导体级);可在大宗气体与特种气体中使用(选型提前注意适合介质);压力精度:1.6级;表盘经抗UV处理。
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