ppb级VOC检测系统

AMC空气分子污染物ppb级VOC监测系统  
一、AMC空气分子污染物ppb级VOC监测系统介绍：  
醋酸、草酸、胺类、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、六甲基二硅胺烷（HMDS）、邻苯二甲酸二辛酯（DOP）、邻苯二甲酸二丁酯（DBP）、邻苯二甲酸二乙酯（DEP）、异丙醇、丙酮、硼酸*酯、二甲苯、磷酸三乙酯---等其他有机物  
空气分子污染物(AMC)对于高科技生产过程是关键性因素，特别是微电子行业，有机污染物是生产过程中的消极因素，会导致高科技公司因产品质量问题而产生的成本增加。  
无空气分子污染物生产是理想的生产目标，通过污染物源头控制、传播控制，实时监控污染物浓度并结合多级过滤器以及新风系统来实现，持久监测AMC浓度，有助于掌握污染物源头、稳定生产、预防过滤器突发性寿命减少等。  
uVOC-CAM提供给客户一个实时快捷持续的在线空气分子污染物AMC监测方案，不需要采样，离线测量。  
关键词：AMC监测，AMC在线监测，AMC在线检测，空气分子污染物监测，半导体洁净室气体分析仪  
二、阿瑞斯-µVOCppb级VOC监测系统产品优势：  
检测限达到sub-ppb级  
洁净室环境中的空气分子污染物AMC，内部来自建筑材料释出、设备和材料释出、腐蚀和光刻等工艺过程中化学药品逸散、人员产生、管路泄露、设备维护修理时散发等，外部来自环境空气中存在的气相污染物，以及洁净室的废气排放重新送回洁净室。  
一旦AMC空气分子污染物超标会引起一系列严重后果，比如晶圆废弃、停产、重新净化洁净室等。  
空气分子污染物问题:从洁净间到生产机台加工  
随着IC产品生产成本的增加，空气分子污染物AMC的监测变得越来越重要。
http://www.bjdktech.com/Products-35489430.html 
https://www.chem17.com/st307321/erlist_2101588.html